潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試

簡要描述：潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試潔凈度檢測 GB50472-2008 電子廠房設計規(guī)范同GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范潔凈度的測試方法一致，采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應位于工作區(qū)的高度，活動高度宜距離地面0.8每個采樣點的最小采樣時間為1min.每一采樣點的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：

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廠商性質(zhì)：工程商
更新時間：2022-12-05
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潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試 GB50472-2008 電子廠房設計規(guī)范同GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范潔凈度的測試方法一致

潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試潔凈度的檢測，應符合下列規(guī)定：

1、應使用采樣量大于1L／min光學粒子計數(shù)器（激光塵埃粒子計數(shù)器），應根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。

潔凈度檢測

2、最少采樣點應按下式計算：

N_L＝√A

式中N_L——最少采樣點；

A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。

3、采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應位于工作區(qū)的高度，活動高度宜距離地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min.

4、每一采樣點的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：

Vs={20/ Cn.m}×1000

式中：Vs——每個采樣點的每次采樣量，以L表示；當Vs很大時，可使用順序采樣法；
Cn.m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3)；
20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(shù)(pc)。
5 、當潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。

潔凈室檢測-電子廠潔凈度塵埃粒子測試判定參考表格

GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范
空氣潔凈等級（N）	最高濃度極限（顆粒數(shù)/m³）						近似對應傳統(tǒng)規(guī)格
空氣潔凈等級（N）	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1.0μm	5.0μm	近似對應傳統(tǒng)規(guī)格
1	10b	2
2	100	24	10	4
3	1,000	237	102	35	8		1
4	10,000	2,370	1,020	352	83		10
5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29	100
6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293	1,000
7				352,000	83,200	2,930	10,000
8				3,520,000	832,000	29,300	100,000
9				35,200,000	8,320,000	293,000

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